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  • 浙江芯之纯半导体材料有限公司半导体级高纯陶瓷产品建设项目环境影响评价公示
    发布日期:2025-05-29 09:52 来源:浙江省生态环境厅

    一、建设项目基本情况

    浙江芯之纯半导体材料有限公司(以下简称浙江芯之纯”或公司成立于202312月,注册资本1571.2486万元。一家基于半导体市场需求,专业开发高端半导体材料的企业公司由资深材料专家领衔组成的半导体材料研发团队专注于碳化硅涂层技术的开发和应用,主要产品为超高纯化学气相沉积法制备的石墨基碳化硅涂层及固体碳化硅材料,可广泛应用于半导体设备以及LED等外延设备的关键耗材生产技术国内领先产品性能达到日本、美国等世界一流的水平。本次为积极响应第三代半导体材料主流市场需求以及公司自身运营规划,公司在建德市大洋镇下王村购置土地,建设半导体级高纯陶瓷产品项目。

    本项目建设规划用地面积约26702平方米,总建筑面积19253.1平方米,建设内容主要包括高纯陶瓷产品生产厂房、生产装置及配套设施,选用先进的高纯碳化硅沉积炉、精密加工水平的数控加工中心、车床、加工中心、三次元坐标测量仪、全自动清洗线等先进设备项目建成后,可达到年产63100件套半导体级高纯陶瓷产品的生产规模本项目建设规划用地面积约26702平方米,总建筑面积19253.1平方米,建设内容主要包括高纯陶瓷产品生产厂房、生产装置及配套设施,选用先进的高纯碳化硅沉积炉、精密加工水平的数控加工中心、车床、加工中心、三次元坐标测量仪、全自动清洗线等先进设备项目建成后,可达到年产63100件套半导体级高纯陶瓷产品的生产规模

    二、环境影响评价范围内主要环境敏感目标分布情况

    本项目环境保护目标见表1

    1 主要环境保护目标

    环境要素

    保护目标名称

    方位

    与厂界最近距离约(米)

    规模

    保护类型及级别

    镇级

    行政村

    自然村

    环境空气、环境风险

    大洋镇

    徐店村

    里埂坞

    SW

    1920

    常住居民户360户,常住人口1145

    环境空气二类区

    下埂坞

    SW

    1000

    麻车里

    SW

    1560

    里张

    SW

    1700

    上源村

    上源村

    S

    2700

    农户646户,总人口2209

    雷公山脚

    S

    2160

    胡店村

    后仇

    W

    1220

    总人口为1410人,现有农户410

    胡店村

    W

    570

    塘坞庵

    W

    470

    党群服务中心

    W

    505

    行政办公

    大洋村

    新成村

    S

    1125

    总人口为1436人,现有农户447500米范围内约10

    突沙

    SE

    1850

    王村

    NE

    2145

    里梓坊

    N

    1770

    眉毛坞

    SW

    1225

    里村

    N

    1780

    外梓坊

    N

    2115

    /

    建德市大洋初级中学

    S

    2020

    全校有22个教学班,1000多名学生,有教职工41

    /

    建德市大洋中心小学

    S

    1520

    学校有17个班,约749名学生,专任教师有40

    里黄村

    风秋坞

    W

    2260

    农户464户,人口1564

    环境风险

    地表水

    兰江

    E

    1000

    大河,河宽约500m

    水环境

    大洋溪

    S

    560

    中河,河宽约70m

    水环境II

    地下水

    评价区域内地下水环境

    保护地下水功能

    土壤

    项目所在地及评价区域内土壤

    保护土壤功能

    三、主要环境影响预测情况

    1环境空气影响分析

    本项目位于环境空气达标区,由预测结果分析可知:正常工况下,本项目TSP小时日均及年均浓度贡献最大值,及对各环境空气保护目标的贡献值均能达到《环境空气质量标准》(GB3095-2012)及修改单(生态环境部公告2018年第29号)相关标准限值,氯化氢小时及日均贡献最大值及对各环境空气保护目标的贡献值均能达到《环境影响评价技术导则 大气环境》(HJ2.2-2018)附录D.1浓度参考限值非甲烷总烃小时浓度贡献最大值及对各环境空气保护目标的贡献值均能达到《大气污染物综合排放标准详解》中的浓度限值,厂界各污染物达标排放;各污染物短期浓度贡献值最大浓度占标率≤100%,年均浓度贡献值最大浓度占标率≤30%

    本项目污染物总量由杭州市生态环境局建德分局调控,无以新带老内容,根据调查,周边存在同类型在(拟)建源。预测结果分析可知:正常工况下叠加背景值后,TSP保证率日平均浓度、HCl烃保证率小时浓度日平均浓度非甲烷总烃保证率小时浓度符合环境质量标准

    综上,认为本项目的环境影响是可以接受的。

    2水环境影响分析

    由工程分析可知,本项目实施后全厂外排水量为39508.4t/aCOD及氨氮外排环境量分别为1.975t/a0.198t/a项目排放的废水主要为脱脂清洗废水、酸洗清洗废水、地面清洁废水、员工生活污水和初期雨水。生产废水和生活污水经厂区污水站处理后纳管排放。

    本项目外排废水主要为脱脂清洗废水、酸洗清洗废水、地面清洁废水纯水制备浓水、员工生活污水和初期雨水,以上废水经厂区废水预处理后可以满足《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中表1电子专用材料水污染物排放限值大洋区块工业污水处理厂纳管标准

    污水处理站拟于2025年底建成并投入试运行,早于本项目建成投运,确保本项目污水处理设施的区域支撑能力。区域污水处理厂一期处理规模为3000/日,主要承担新化、大洋化工、同创热电以及小洋区块相关企业的工业污水,该污水厂的建设即为配套大洋区域目前及拟建的企业废水量,本项目建成后企业整体废水占整个污水厂处理量的4%,在其处理能力内。

    综上所述,无论是水量还是水质上,项目废水不会对配套建设的废水处理系统及园区污水处理厂运行及稳定达标排放造成冲击,废水排放不会对大洋溪及兰江水质直接或间接产生明显影响。

    3环境影响分析

    由预测结果可知,项目厂界噪声能达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)中的3类标准限值要求。说明本项目噪声排放对周边声环境影响较小

    4固废影响分析

    项目产生的一般固废主要为石墨边角料、碳化硅边角料、碳化硅废次品及粉尘、废机油,危废主要包括脱脂槽废渣、酸洗槽废渣、废切削液、含油废屑、废盐、污水站压滤污泥、原料废包装物。危废委托有资质单位处置;一般固废收集后出售给废旧物资回收部门;生活垃圾由环卫统一清运

    项目固废可实现零排放,项目产生的固废对环境影响不大。

    5土壤影响分析

    正常工况下,本项目依托较好的“三废”治理措施,废水、废气、固废污染物均能实现有效处置,不会通过地面漫流、垂直入渗、大气沉降等形式对厂区内及周边土壤造成影响。

    6、环境风险影响分析

        本项目通过落实风险防范措施,其发生概率可进一步降低,其影响可以进一步减轻,环境风险是可以承受的。

    四、拟采取的主要环境保护措施、环境风险防范措施以及预期效果

    预防或者减轻不良环境影响的对策和措施具体见表2

    2  项目防治措施及效果表

    内容

    要素

    排放口(编号、名称)/污染源

    污染物项目

    环境保护措施

    预期治理效果

    废气

    DA001/碳化硅沉积

    HCl

    沉积废气收集后通过级碱液喷淋吸收后通过24m排气筒高空排放。

    达标排放

    无组织/机加工

    颗粒物

    机加工设备自带布袋除尘设备,机加工粉尘经布袋除尘设施处理后在车间内无组织排放。

    影响较小

    废水

    DW001/生产废水、生活污水和初期雨水

    CODCrNH3-NSS石油类、氟化物、LAS

    企业新建1座处理规模为240t/d的污水处理站。根根据项目设计资料,项目废水采用分类收集、分质处理方式,含氟等酸洗废水经收集后进入酸洗废水处理系统,脱脂清洗废水经收集后进入生化处理系统,喷淋废水经收集后进入高盐废水处理系统,生产废水和生活污水处理至《电子工业水污染物排放标准》(GB39731-2020)中的表1水污染物排放限值及建德市大洋工业污水处理厂纳管标准后排入园区污水管网。

    达标排放

    声环境

    厂界

    LeqA

    1)设备选择高效低噪音设备;

    2)合理车间布局,生产设备等尽量布置在车间中部;

    3)废气处理风机进、出气口(或管道上)安装消声器,并在风机的机壳、电动机、基础振动等部位采用隔声置进行隔声,将整个风机用密闭的隔声置包围起来,风机与进排风管采用柔性连接管连接;

    4)水泵、高压泵尽量放在室内,不能放在室内的建议采用隔声置等隔声措施;

    5)加强生产管理:①加强设备的维护,确保设备处于良好的运转状态,杜绝因设备不正常运转时产生的高噪声现象;②加强职工环保意识教育,提倡文明生产,防止人为噪声;③物料及产品的运输尽量安排在白天进行,避免夜间声对周围环境的影响;④对于厂区流动声源(汽车),要强化行车管理制度,进入厂区低速行驶,严禁鸣号,最大限度减少流动噪声源。

    达标排放

    固体废物

    危废委托有资质单位处置;一般固废出售给废旧物资回收部门;生活垃圾由环卫统一清运

    固废可妥善处置

    土壤及地下水

    污染防治措施

    1、源头控制措施

    1)对生产车间采取相应的措施,防治和降低污染物跑、冒、滴、漏,将污染物泄漏的环境风险事故降低到最低程度。

    2)优化厂内雨污水管网的设计,废水管网采用明沟套明管的方式数设,沟内进行防渗处理,沟顶加盖防雨,每隔一定间距设检查口,以便维护和及时查看管沟内是否有渗漏。

    3)工艺废水采用专管收集、输移,以便检査、维护,废液输送泵建议采用耐腐蚀泵,以防泄漏;地面集、汇水采用明沟(主要用于收集地面清洗水及可能存在的少量跑冒废水);不同废水的收集管采用不同颜色标出,便于对废水管道有无破损等进行检查。从源头上减少污水产生,有助于土壤和地下水环境的防护。

    2、分区防渗

    项目可能对地下水环境造成影响的环节主要包括:本工程罐区、污水处理系统、污水收集管线、清洗车间、化学品仓库、事故应急池以及危废暂存间等的跑、冒、滴、漏等下渗对土壤和地下水影响,建设单位需按照防渗标准分区设置防渗区,建立防渗设施的检漏系统,防止污染物的跑、冒、滴、漏,将污染物泄漏的环境风险事故降到最低限度。

    正常情况下对地下水及土壤基本无环境影响,严格控制风险事件的发生。

    环境风险防范措施

    1)编制突发环境事件应急预案,制订风险事故的应急措施,明确事故发生时的应急、抢险操作制度。

    2建事故应急池

    风险可控

    五、环境影响评价初步结论

    项目选址不涉及生态红线、实施后能维持区域环境质量现状,不会突破当地环境质量底线,此外,项目各项能资源均有合理来源,不会触及当地资源利用上线,并且项目的建设不在当地环境管理负面清单之列,本项目符合可行性、可靠性、有效性、科学性的四性原则,且不属于五不准中的情形,符合《关于以改善环境质量为核心加强环境影响评价管理的通知》(环环评[2016]150号)的文件要求。

    本项目选址于建德市大洋镇下王村。项目建设符合国家及地方产业政策要求,符合城乡发展规划、土地总体规划和“三线一单”,符合《浙江省建设项目环境保护管理办法》(2021年修正)(浙江省人民政府令第388号)中规定的审批原则(第三条)。项目选址可行,厂区布置合理;生产工艺先进,技术成熟可靠,满足清洁生产要求;在落实本环评提出的各项污染防治措施后废气废水能达标排放,并符合总量控制原则。项目实施后各污染物排放对周围环境贡献量较小,当地环境质量基本能维持现状;公示期间,未收到来电、来信等反对意见;通过落实各项风险防范措施及应急预案,事故风险可控制在接受范围内;项目可实现环境效益、经济效益和社会效益的协调发展。

    因此,项目需认真落实环评中提出的各项污染防治措施,严格执行“三同时”制度,确保污染物达标排放。从环保角度而言,项目实施是可行的。

    上述评价结果是仅根据建设方提供的规模、工艺、布局所做出的,如建设方扩大规模、变动工艺、改变布局等造成重大变动时,建设方必须按照建设项目环境管理程序要求,重新进行申报审批

    六、征求公众意见的范围和主要事项

    1、征求公众意见的范围和对象

    项目拟建地周围可能受影响范围内的人员,包括居民、企事业单位等

    2、主要事项

    项目建设和投入运营后的环保方面的相关事项:

    1)公众对本工程是否认可;

    2)公众就本工程建设对周围环境影响的意见;

    3)公众对本工程环境保护工作的建议;

    4)公众对确定的环评单位的建议和意见。

    七、征求公众意见的起止时间

    202496——919

    八、征求公众意见的具体形式

    公众(个人或团体)自本公告发布之日起10个工作日内,以信函、电话或其他方式与建设单位、环评单位、环保部门联系,建议团体单位加盖公章,个人应具名并说明联系方式。公众若需补充了解相关信息,请在公示期间向环评单位联系索要。环评单位将在《环境影响报告》中真实记录公众的意见和建议,并将公众的宝贵意见、建议向工程的建设单位、设计单位和有关部门反映。

    1)项目审批单位名称:杭州市生态环境局建德分局

    联系电话:0571-64780217

    2)环评单位名称:杭州经伦科技咨询有限公司

    单位地址:建德市新安东路271

    联系电话:0571-64786898

    3)建设单位名称:浙江芯之纯半导体材料有限公司

    单位地址:建德市大洋镇下王村

    联系电话:15990153035

    发布单位:浙江芯之纯半导体材料有限公司

                   发布时间:202496